Integreret kredsløb

Den aktuelle version af siden er endnu ikke blevet gennemgået af erfarne bidragydere og kan afvige væsentligt fra den version , der blev gennemgået den 23. maj 2022; checks kræver 8 redigeringer .

Integreret kredsløb ( IC , IC, engelsk  IC ); mikrokredsløb , m / s , chip ( eng.  chip : "tynd plade ": oprindeligt refererede udtrykket til en mikrokredsløbskrystalplade ) - mikroelektronisk enhed  - et elektronisk kredsløb af vilkårlig kompleksitet (krystal) lavet på et halvledersubstrat ( wafer eller film) og anbragt i et ikke -adskilleligt hus eller uden det i tilfælde af medtagelse i mikroenheden [1] .

De fleste mikrokredsløb er fremstillet i overflademonterede pakker .

Ofte forstås et integreret kredsløb (IC) som en krystal eller en film med et elektronisk kredsløb, og et mikrokredsløb (MC) er en IC, der er indesluttet i et kabinet. Udtrykket spånkomponenter betyder samtidig " komponenter til overflademontering " (i modsætning til komponenter til gennemlodning af huller på pladen ).

Historie

Den 7. maj 1952 fremsatte den britiske radioingeniør Geoffrey Dummer først ideen om at kombinere mange standard elektroniske komponenter i en monolitisk halvlederkrystal . Gennemførelsen af ​​disse forslag i disse år kunne ikke finde sted på grund af utilstrækkelig udvikling af teknologi.  

I slutningen af ​​1958 og i første halvdel af 1959 skete der et gennembrud i halvlederindustrien. I 1959 udviklede Eduard Keondjian den første prototype af et integreret kredsløb. [2] [3] [4] [5] Tre mænd, der repræsenterede tre private amerikanske virksomheder, løste tre grundlæggende problemer, der forhindrede skabelsen af ​​integrerede kredsløb. Jack Kilby fra Texas Instruments patenterede fusionsprincippet, skabte de første uperfekte IC-prototyper og bragte dem til masseproduktion. Kurt Lehovec fra Sprague Electric Company opfandt en metode til elektrisk isolering af komponenter dannet på en enkelt halvlederchip ( pn junction isolation ) .  Robert Noyce fra Fairchild Semiconductor opfandt en metode til elektrisk forbindelse af IC-komponenter ( aluminiumsplettering ) og foreslog en forbedret version af komponentisolering baseret Jean Hoernis seneste planteknologi . Den 27. september 1960 skabte Jay Lasts gruppe den første brugbare halvleder -IC hos Fairchild Semiconductor baseret på ideerne fra Noyce og Ernie. Texas Instruments , som ejede patentet for Kilbys opfindelse, lancerede en patentkrig mod konkurrenter, som endte i 1966 med en forligsaftale om teknologikrydslicensering .   

De tidlige logiske IC'er i disse serier blev bogstaveligt talt bygget af standardkomponenter , hvis størrelser og konfigurationer blev fastsat af den teknologiske proces. Kredsløbsingeniører, der designede logiske IC'er af en bestemt familie, drev med de samme typiske dioder og transistorer. I 1961-1962. Designparadigmet blev brudt af Sylvanias hoveddesigner Tom Longo , som var banebrydende for brugen af ​​forskellige transistorkonfigurationer i en enkelt IC , afhængigt af deres funktion i kredsløbet. I slutningen af ​​1962 lancerede Sylvania Longos første familie af transistor-transistor-logik (TTL), historisk set den første type integreret logik, der formåede at få et permanent fodfæste på markedet. Inden for analoge kredsløb blev et gennembrud på dette niveau lavet i 1964-1965 af Fairchild operationsforstærker designer Bob Widlar .

Det første mikrokredsløb i USSR blev oprettet i 1961 på TRTI (Taganrog Radio Engineering Institute) under ledelse af LN Kolesov [6] . Denne begivenhed tiltrak sig opmærksomheden fra det videnskabelige samfund i landet, og TRTI blev godkendt som leder i systemet for ministeriet for videregående uddannelse på problemet med at skabe højpålideligt mikroelektronisk udstyr og automatisere dets produktion. L. N. Kolesov selv blev udnævnt til formand for koordineringsrådet for dette problem.

Det første i USSR hybrid tykfilm integreret kredsløb (serie 201 "Tropa") blev udviklet i 1963-65 på Research Institute of Precision Technology (" Angstrem "), serieproduktion siden 1965. Specialister fra NIEM (nu Argon Research Institute ) deltog i udviklingen [7] [8] .

Det første integrerede halvlederkredsløb i USSR blev skabt på basis af plan teknologi , udviklet i begyndelsen af ​​1960 ved NII-35 (dengang omdøbt til NII "Pulsar" ) af et hold, som senere blev overført til NIIME (" Micron ") . Oprettelsen af ​​det første indenlandske integrerede siliciumkredsløb var fokuseret på udvikling og produktion med militær accept af en række integrerede siliciumkredsløb TS-100 (37 elementer - svarende til kredsløbskompleksiteten af ​​en trigger , en analog af de amerikanske IC'er af SN - 51 -serien fra Texas Instruments ). Prototyper og produktionsprøver af integrerede siliciumkredsløb til reproduktion blev opnået fra USA. Arbejdet blev udført ved NII-35 (direktør Trutko) og Fryazinsky Semiconductor Plant (direktør Kolmogorov) under en forsvarsordre til brug i en autonom højdemåler af et ballistisk missilstyringssystem . Udviklingen omfattede seks typiske integrerede plane siliciumkredsløb i TS-100-serien og tog med tilrettelæggelsen af ​​pilotproduktion tre år på NII-35 (fra 1962 til 1965). Det tog yderligere to år at mestre fabriksproduktionen med militær accept i Fryazino (1967) [9] .

Sideløbende blev arbejdet med udviklingen af ​​et integreret kredsløb udført på det centrale designbureau på Voronezh Plant of Semiconductor Devices (nu JSC NIIET ). I 1965, under et besøg i VZPP af ministeren for elektronisk industri A.I. Shokin, blev anlægget instrueret til at udføre forskningsarbejde vedrørende skabelsen af ​​et monolitisk siliciumkredsløb - R&D "Titan" (ministeriets bekendtgørelse nr. 92 af 16. august , 1965), som var forud for planen, afsluttet ved årets udgang. Emnet blev med succes forelagt statskommissionen, og en række af 104 diode-transistor logiske kredsløb blev den første faste præstation inden for faststofmikroelektronik, hvilket blev afspejlet i ordre fra Ministeriet for Økonomisk Udvikling af 30. 1965 nr. 403 [10] [11] .

Klassifikation

Efter integrationsgrad

Afhængigt af graden af ​​integration bruges følgende navne på integrerede kredsløb:

Tidligere blev nu forældede navne også brugt: et ultra-storskala integreret kredsløb (ULSI) - fra 1-10 millioner til 1 milliard elementer i en krystal [12] [13] og nogle gange et giga-stort integreret kredsløb ( GBIC) - mere end 1 milliard elementer i en krystal. På nuværende tidspunkt, i 2010'erne, bruges navnene "UBIS" og "GBIS" praktisk talt ikke, og alle mikrokredsløb med mere end 10 tusinde elementer er klassificeret som VLSI.

Ifølge produktionsteknologi

Efter den type signal, der behandles

Analoge IC'er  - indgangs- og udgangssignaler varierer som en kontinuerlig funktion fra positiv til negativ forsyningsspænding.

Digitale mikrokredsløb  - indgangs- og udgangssignaler kan have to værdier: et logisk nul eller et logisk, som hver svarer til et bestemt spændingsområde. For eksempel, for TTL -type mikrokredsløb med en forsyningsspænding på +5 V, svarer spændingsområdet på 0 ... 0,4 V til et logisk nul, og området fra 2,4 til 5 V svarer til et logisk; for ESL logiske chips ved en forsyningsspænding på -5,2 V er området fra -0,8 til -1,03 V en logisk enhed, og fra -1,6 til -1,75 V er et logisk nul.

Analog-til-digital IC'er kombinerer former for digital og analog signalbehandling , såsom en signalforstærker og en analog-til-digital-konverter .

Udnævnelse

Et integreret kredsløb kan have en komplet, vilkårligt kompleks funktionalitet - op til en hel mikrocomputer ( enkelt-chip mikrocomputer ).

Analoge kredsløb

Analogt integreret ( mikro ) kredsløb ( AIS , AIMS ) er et integreret kredsløb, hvis indgangs- og udgangssignaler ændres i henhold til loven om en kontinuerlig funktion (det vil sige, at de er analoge signaler ).

En laboratorieprøve af en analog IC blev skabt af Texas Instruments i USA i 1958 . Det var en faseskift generator . I 1962 dukkede den første serie af analoge mikrokredsløb op - SN52. Den havde en lavfrekvent lavfrekvent forstærker , en operationsforstærker og en videoforstærker [14] .

I USSR blev et stort udvalg af analoge integrerede kredsløb opnået i slutningen af ​​1970'erne. Deres brug gjorde det muligt at øge pålideligheden af ​​enheder, forenkle udstyrsopsætning og ofte endda eliminere behovet for vedligeholdelse under drift [15] .

Nedenfor er en delvis liste over enheder, hvis funktioner kan udføres af analoge IC'er. Ofte erstatter et mikrokredsløb flere af dem på én gang (for eksempel indeholder K174XA42 alle noderne i en superheterodyn FM -radiomodtager [16] ).

Analoge mikrokredsløb bruges i lydforstærknings- og lydgengivelsesudstyr, i videooptagere , fjernsyn , kommunikationsteknologi, måleinstrumenter, analoge computere , sekundære strømforsyninger osv.

I analoge computere I strømforsyninger I videokameraer og kameraer I lydforstærknings- og lydgengivelsesudstyr I måleinstrumenter I radiosendere og -modtagere På tv

Digitale kredsløb

Et digitalt integreret kredsløb (digitalt kredsløb) er et integreret kredsløb designet til at konvertere og behandle signaler , der ændres i henhold til loven om en diskret funktion.

Digitale integrerede kredsløb er baseret på transistorkontakter, der kan være i to stabile tilstande: åben og lukket. Brugen af ​​transistorkontakter gør det muligt at skabe forskellige logik-, trigger- og andre integrerede kredsløb. Digitale integrerede kredsløb bruges i diskrete informationsbehandlingsenheder til elektroniske computere ( computere ), automationssystemer osv.

Digitale integrerede kredsløb har en række fordele i forhold til analoge:

Analog-til-digitale kredsløb

Analog-til-digital integreret kredsløb (analog-til-digital mikrokredsløb) er et integreret kredsløb designet til at konvertere signaler, der ændres i henhold til loven om en diskret funktion, til signaler, der ændres i henhold til loven om en kontinuerlig funktion , og omvendt.

Ofte udfører et mikrokredsløb funktionerne for flere enheder på én gang (for eksempel indeholder successive approksimations-ADC'er en DAC, så de kan udføre tovejskonverteringer). Liste over enheder (ufuldstændig), hvis funktioner kan udføres af analog-til-digitale IC'er:

Produktion

Hovedelementet i analoge mikrokredsløb er transistorer ( bipolære eller felt ). Forskellen i transistorfremstillingsteknologi påvirker markant mikrokredsløbets egenskaber. Derfor er fremstillingsteknologien ofte angivet i beskrivelsen af ​​mikrokredsløbet for at understrege de generelle egenskaber ved mikrokredsløbets egenskaber og muligheder. Moderne teknologier kombinerer bipolære og felteffekttransistorteknologier for at opnå forbedret chipydelse.

Design

Designniveauer:

såvel som

I øjeblikket (2022) er de fleste af de integrerede kredsløb designet ved hjælp af specialiserede CAD-systemer , som giver dig mulighed for at automatisere og markant fremskynde produktionsprocesser , for eksempel opnå topologiske fotomasker.

Produktion af analoge mikrokredsløb

I øjeblikket fremstilles analoge mikrokredsløb af mange virksomheder: Analog Devices , Analog Microelectronics, Maxim Integrated Products, National Semiconductor, Texas Instruments osv.

Overgangen til submikronstørrelser af integrerede elementer komplicerer designet af AIMS. For eksempel har MOSFET'er med en kort portlængde en række funktioner, der begrænser deres brug i analoge blokke: et højt niveau af lavfrekvent flimmerstøj ; en stærk spredning af tærskelspænding og hældning, hvilket fører til udseendet af en stor offsetspænding af differential- og operationsforstærkere ; lav output lav-signal modstand og forstærkning af kaskader med en aktiv belastning ; lav gennembrudsspænding af pn-forbindelser og dræn - kilde- gabet , hvilket forårsager et fald i forsyningsspændingen og et fald i det dynamiske område [22] .

Produktion af digitale mikrokredsløb 

Teknologier efter type logik:

Ved at bruge den samme type transistorer kan mikrokredsløb bygges ved hjælp af forskellige metoder, såsom statiske eller dynamiske .

CMOS og TTL (TTLSh) teknologier er de mest almindelige chiplogikker. Hvor det er nødvendigt at spare strømforbrug, anvendes CMOS-teknologi, hvor hastighed er vigtigere og strømforbrug ikke er påkrævet, anvendes TTL-teknologi. Det svage punkt ved CMOS-mikrokredsløb er sårbarheden over for statisk elektricitet  - det er nok at røre ved udgangen af ​​mikrokredsløbet med din hånd, og dets integritet er ikke længere garanteret. Med udviklingen af ​​TTL- og CMOS-teknologier nærmer mikrokredsløb sig med hensyn til parametre, og som følge heraf er f.eks. 1564-serien af ​​mikrokredsløb lavet ved hjælp af CMOS-teknologi, og funktionaliteten og placeringen i kabinettet ligner dem i TTL teknologi.

Chips fremstillet ved hjælp af ESL-teknologi er de hurtigste, men også de mest energikrævende, og blev brugt i produktionen af ​​computerteknologi i de tilfælde, hvor den vigtigste parameter var beregningshastigheden. I USSR blev de mest produktive computere af typen ES106x fremstillet på ESL-mikrokredsløb. Nu bruges denne teknologi sjældent.

Fremstilling af halvledermikrokredsløb 

Halvledermikrokredsløb - alle elementer og interelementforbindelser er lavet på en halvlederkrystal (substrat).

Substrat  - sædvanligvis en enkeltkrystal halvlederwafer , designet til at skabe film , heterostrukturer og dyrke enkeltkrystallag ved hjælp af epitaksiprocessen ( hetereroepitaxi , homoepitaxy , endotaksi ), krystallisation osv. [23] Silicium , germanium , galliumarsenid , glas - keramik [24] ] , safir er et af materialerne til mikrokredsløbssubstrater.

Teknologisk proces

Ved fremstilling af mikrokredsløb anvendes metoden til fotolitografi (projektion, kontakt osv.), mens kredsløbet er dannet på et substrat (normalt silicium ) opnået ved at skære siliciumenkeltkrystaller i tynde wafere med diamantskiver. På grund af de små lineære dimensioner af elementerne i mikrokredsløb blev brugen af ​​synligt lys og endda nær ultraviolet stråling under belysning opgivet.

Som et kendetegn ved mikrochipproduktionsprocessen er de minimale kontrollerede dimensioner af fotorepeatertopologien (kontaktvinduer i siliciumoxid, portbredde i transistorer osv.) og som et resultat dimensionerne af transistorer (og andre elementer) på en chip er angivet. Denne parameter er imidlertid indbyrdes afhængig af en række andre produktionsmuligheder: renheden af ​​det opnåede silicium, injektorernes egenskaber, fotolitografimetoder, ætsning og sputteringsmetoder .

I 1970'erne var den minimale kontrollerbare størrelse af masseproducerede mikrokredsløb 2-8 µm , i 1980'erne blev den reduceret til 0,5-2 µm [25] .

I 1990'erne, på grund af en ny runde af "platform krige", begyndte eksperimentelle metoder at blive introduceret i produktionen og hurtigt forbedret: i begyndelsen af ​​1990'erne blev processorer (for eksempel den tidlige Pentium og Pentium Pro ) fremstillet ved hjælp af 0,5-0,6 mikron-teknologi (500-600 nm), så nåede teknologien 250-350 nm. Følgende processorer ( Pentium II , K 6-2 +, Athlon ) blev allerede lavet ved hjælp af 180 nm-teknologi. I 2002-2004 blev 90 nm fremstillingsprocesser mestret (Winchester AMD 64, Prescott Pentium 4) [25] .

Følgende processorer blev fremstillet under anvendelse af UV-lys ( ArF excimer-laser , bølgelængde 193 nm). I gennemsnit skete introduktionen af ​​nye tekniske processer af industriledere i henhold til ITRS-planen hvert andet år, mens antallet af transistorer pr. arealenhed blev fordoblet: 45 nm (2007), 32 nm (2009), 22 nm (2011) [ 26] [27] , 14 -nm (2014) [28] , 10 nm (2018), 5 nm (2020), 3 nm (2022) [29] .

I 2015 var der skøn over, at indførelsen af ​​nye tekniske processer vil bremse [30] .

Kvalitetskontrol

For at kontrollere kvaliteten af ​​integrerede kredsløb anvendes de såkaldte teststrukturer i vid udstrækning .

Chip serie

Analoge og digitale mikrokredsløb produceres i serie. En serie er en gruppe af mikrokredsløb, der har et enkelt design og teknologisk design og er beregnet til fælles brug. Mikrokredsløb af samme serie har som regel de samme spændinger af strømforsyninger, matches med hensyn til input- og outputmodstande, signalniveauer.

Korps

Et mikrokredsløbshus  er en struktur designet til at beskytte mikrokredsløbskrystallen mod ydre påvirkninger, såvel som for bekvemmeligheden ved at montere mikrokredsløbet i et elektronisk kredsløb. Den indeholder selve kroppen lavet af dielektrisk materiale (plastik, sjældnere keramik), et sæt ledere til elektrisk forbindelse af krystallen med eksterne kredsløb ved hjælp af ledninger , mærkning.

Der er mange muligheder for mikrokredsløbspakker, forskellige i antallet af mikrokredsløbsstifter, monteringsmetode og driftsbetingelser. For at forenkle monteringsteknologien forsøger mikrokredsløbsproducenter at forene pakker ved at udvikle internationale standarder.

Nogle gange produceres mikrokredsløb i et rammeløst design - det vil sige en krystal uden beskyttelse. Pakkeløse chips er normalt designet til montering i en hybrid mikroenhed. For massebillige produkter er direkte monteringet printkort muligt .

Specifikke titler

Intel var den første til at fremstille et mikrokredsløb, der udførte funktionerne som en mikroprocessor ( engelsk mikroprocessor ) - Intel 4004 . Baseret på de forbedrede 8088 og 8086 mikroprocessorer udgav IBM sine velkendte personlige computere .  

Mikroprocessoren udgør kernen i computeren, yderligere funktioner, såsom kommunikation med perifere enheder , blev udført ved hjælp af specialdesignede chipsæt ( chipsæt ). For de første computere blev antallet af chips i sættene anslået til tiere og hundreder; i moderne systemer er dette et sæt på en, to eller tre chips. For nylig har der været tendenser til gradvis overførsel af chipsætfunktioner (hukommelsescontroller, PCI Express buscontroller ) til processoren.

Mikroprocessorer med indbygget RAM og ROM , hukommelse og I/O-controllere og andre ekstra funktioner kaldes mikrocontrollere .

Verdensmarkedet

I 2017 blev det globale marked for integrerede kredsløb anslået til $700 milliarder [31]

De vigtigste producenter og eksportører er i Asien: Singapore (115 milliarder USD), Sydkorea (104 milliarder USD), Kina (80,1 milliarder USD) og Malaysia (55,7 milliarder USD). Den største europæiske eksportør er Tyskland (1,4 milliarder dollars), den amerikanske er USA (28,9 milliarder dollars). De største importører er Kina ($207 milliarder), Hong Kong ($168 milliarder), Singapore ($57,8 milliarder), Sydkorea ($38,6 milliarder) og Malaysia ($37,3 milliarder).

Retsbeskyttelse

Russisk lovgivning giver juridisk beskyttelse af topologier af integrerede kredsløb. Topologien af ​​et integreret kredsløb er det rumligt-geometriske arrangement af sættet af elementer i et integreret kredsløb og forbindelserne mellem dem fastgjort på en materialebærer (artikel 1448 i Den Russiske Føderations Civil Code ).

Forfatteren af ​​den integrerede kredsløbstopologi ejer følgende intellektuelle rettigheder:

  1. eneret;
  2. ophavsret.

Forfatteren af ​​topologien af ​​det integrerede kredsløb ejer også andre rettigheder, herunder retten til vederlag for brugen af ​​tjenestetopologien.

Eneretten til topologi gælder i ti år. Rettighedsindehaveren kan i denne periode, hvis han ønsker det, registrere topologien hos Federal Service for Intellectual Property, Patents and Trademarks . [32]

Se også

Noter

  1. Teknologi til fremstilling af mikrokredsløb // 1. Generel information om mikrokredsløb og deres fremstillingsteknologi. (utilgængeligt link) . Hentet 11. oktober 2010. Arkiveret fra originalen 25. december 2012. 
  2. Keonjian Distinguished Professorship hædrer liv og arbejde for 'Father of Microelectronics  '  ? . Nyheder | Ingeniørhøjskolen | University of Arizona (6. oktober 2009). Dato for adgang: 18. oktober 2022.
  3. Robin Shannon. Lineære integrerede kredsløb . — Videnskabelige e-ressourcer, 2019-03-18. — S. 9 - "Noyce beskrev en integrator, som han diskuterede med Keonjian". - 312 s. - ISBN 978-1-83947-241-1 .
  4. evergreen74, evergreen74. Hvordan laves en integreret chip   ? . Evergreen74 (14. oktober 2022). - Del i artiklen, hvor sodr. inf: "Hvem udviklede integreret chip? Jack Kilby, Robert Noyce, Edward Keonjian, Frank Wanlass. Hentet 18. oktober 2022.
  5. Overlevet for at fortælle . www.goodreads.com . - information er indeholdt i delen: "I 1959 designede Keonjian den første prototype af integreret kredsløb". Dato for adgang: 18. oktober 2022.
  6. Se især Mekhantsev E. B. Om en halvglemt begivenhed (til 50-årsdagen for mikroelektronik), Electronics: Science, technology, business, nummer 7, 2009 http://www.electronics.ru/journal/article/293 Arkivkopi fra 19. oktober 2013 på Wayback Machine
  7. Angstroms historie Arkiveret 2. juni 2014 på Wayback Machine
  8. Museum of Electronic Rarities - Hybrider - Serie 201 . Hentet 20. maj 2014. Arkiveret fra originalen 21. maj 2014.
  9. Oprettelse af det første huslige mikrokredsløb . Chip News #8, 2000. Hentet 11. juni 2008. Arkiveret fra originalen 20. februar 2008.
  10. Petrov L., Udovik A. Hvem opfandt ... det integrerede kredsløb? // Elektroniske komponenter. 2013. Nr. 8. s. 10-11 . Hentet 23. april 2021. Arkiveret fra originalen 23. april 2021.
  11. History of domestic electronics, 2012, bind 1, udg. Direktør for afdelingen for radio-elektronisk industri i det russiske industri- og handelsministerium Yakunin A. S., s. 632
  12. Hvad er Ultra Large-Scale Integration (ULSI)? — Definition fra Techopedia . Dato for adgang: 21. december 2014. Arkiveret fra originalen 21. december 2014.
  13. Standards and Quality, Issues 1-5 1989, s. 67 “Meget stort integreret kredsløb (VLSI) - omkring 100 tusinde elementer; ultra-stort integreret kredsløb (UBIS) - mere end 1 million elementer . Hentet 1. juli 2022. Arkiveret fra originalen 11. april 2022.
  14. Nefedov A.V., Savchenko A.M., Feoktistov Yu.F. Udenlandske integrerede kredsløb til industrielt elektronisk udstyr: en håndbog. - M . : Energoatomizdat, 1989. - S. 4. - 300.000 eksemplarer.  — ISBN 5-283-01540-8 .
  15. Yakubovsky S.V., Barkanov N.A., Nisselson L.I. Analoge og digitale integrerede kredsløb. Referencemanual. - 2. udg. - M . : "Radio og kommunikation", 1985. - S. 4-5.
  16. K174XA42 - single-chip FM-radio . Hentet 12. juni 2018. Arkiveret fra originalen 12. juni 2018.
  17. tryksensorer . Hentet 12. juni 2018. Arkiveret fra originalen 17. maj 2012.
  18. Magnetisk styrede IC'er baseret på silicium Hall-sensorer  (utilgængeligt link)
  19. Integrerede analoge termiske sensorer i MK-kredsløb . Hentet 12. juni 2018. Arkiveret fra originalen 12. juni 2018.
  20. Maxim Integral Sensors . Hentet 12. juni 2018. Arkiveret fra originalen 12. juni 2018.
  21. Beskyttet af Ch. 74 "Retten til topologien af ​​integrerede kredsløb" i Den Russiske Føderations civile lovbog som intellektuel ejendom ( artikel 1225 "Beskyttede resultater af intellektuel aktivitet og midler til individualisering" ).
  22. Design af analoge mikrokredsløb på MOSFET'er. Del 1. Lille-signal model af en MOSFET med støjkilder . Hentet 12. juni 2018. Arkiveret fra originalen 12. juni 2018.
  23. Bakhrushin V. E. Opnåelse og fysiske egenskaber af let legerede lag af flerlagssammensætninger. - Zaporozhye: KPU, 2001. - 247 s.
  24. Rostec øgede produktionen af ​​komponenter til mikrokredsløb // Gazeta.ru , 4. august 2022
  25. 1 2 Er 14nm enden på vejen for siliciumchips? Arkiveret 19. august 2015 på Wayback Machine // ExtremeTech, september 2011
  26. H. Iwai, Roadmap for 22 nm and beyond Arkiveret 23. september 2015 på Wayback Machine / Microelectron. Eng. (2009), doi:10.1016/j.mee.2009.03.129
  27. Arkiveret kopi . Hentet 15. august 2015. Arkiveret fra originalen 30. januar 2013.
  28. Arkiveret kopi . Hentet 15. august 2015. Arkiveret fra originalen 24. juli 2015.
  29. besøg i Sydkorea - USA's præsident Joseph Biden autograferede en siliciumwafer med prøver af de første 3-nm-chips fremstillet af Samsung Electronics .
  30. Moore's Law Buckles, da Intels Tick-Tock Cycle Slows Down Arkiveret 18. august 2015 på Wayback Machine 16. juli 2015
  31. Udenrigshandel med integrerede kredsløb ifølge atlas.media.mit.edu biblioteket . Hentet 6. juli 2019. Arkiveret fra originalen 6. juli 2019.
  32. RETTEN TIL TOPOLOGIERNE AF INTEGRERET MIKROkredsløb . Hentet 29. november 2010. Arkiveret fra originalen 6. marts 2014.

Litteratur

  • Jean M. Rabai, Ananta Chandrakasan, Borivoj Nikolic. Digitale integrerede kredsløb. Designmetodologi = Digitale integrerede kredsløb. - 2. udg. - M .: Williams , 2007. - 912 s. — ISBN 0-13-090996-3 .
  • Chernyaev V.N. Teknologi til produktion af integrerede kredsløb og mikroprocessorer / Chernyaev V.N. - M. : Radio og kommunikation, 1987. - 464 s. — Ingen ISBN, UDC 621.38 Ch-498.
  • Parfenov O.D. Teknologi af mikrokredsløb / Parfenov O.D. - M . : Højere. skole, 1986. - 318 s. — Intet ISBN, UDC 621.3.049.77.
  • Efimov I.E., Kozyr I.Ya., Gorbunov Yu.I. Mikroelektronik. - M . : Højere skole, 1987. - 416 s.
  • Broday I., Merey J. Fysiske grundlag for mikroteknologi. — M .: Mir, 1985. — 496 s. — ISBN 200002876210.
  • Pierce K., Adams A., Katz L. VLSI-teknologi. I 2 bøger. — M .: Mir, 1986. — 404 s. - 9500 eksemplarer.
  • Pasynkov VV, Chirkin LK Halvlederenheder: Lærebog. - 8. rettelse .. - St. Petersborg. : Lan, 2006. - S. 335-336. - 480 s. - 3000 eksemplarer.
  • Ataev D. I., Bolotnikov V. A. Analoge integrerede kredsløb til husholdningsradioudstyr: En håndbog. - M. : MPEI, 1991. - 240 s. — ISBN 5-7046-0028-X .
  • Ataev D. I., Bolotnikov V. A. Analoge integrerede kredsløb til tv-radioudstyr: En håndbog. - M. : MPEI, 1993. - 184 s. — ISBN 5-7046-0091-3 .
  • Ermolaev Yu. P., Ponomarev M. F., Kryukov Yu. G. Design og teknologi af mikrokredsløb / (GIS og BGIS). - M . : Sovjetisk radio, 1980. - 256 s. — 25.000 eksemplarer.
  • Koledov L. A. Teknologi og design af mikrokredsløb, mikroprocessorer og mikrosamlinger. - M . : Sovjetisk radio, 1989. - 394 s.
  • Koledov L. A. Teknologi og design af mikrokredsløb, mikroprocessorer og mikrosamlinger. - Sankt Petersborg. : Lan, 2008. - 394 s. - 2000 eksemplarer.  - ISBN 978-5-8114-0766-8 .
  • Yakubovsky S. V., Barkanov N. A., Nisselson L. I., Topeshkin M. N., Ushibyshev V. A. Analoge og digitale integrerede kredsløb. - M .: Radio og kommunikation , 1985. - 432 s. — (Design af REA på integrerede kredsløb). — 60.000 eksemplarer.