Energidispersiv røntgenspektroskopi ( EDX , EDRS eller EDS ) er en analytisk metode til elementær analyse af et fast stof, baseret på analysen af emissionsenergien fra dets røntgenspektrum, en variant af røntgenspektralanalyse .
Ved hjælp af en elektronstråle (i elektronmikroskoper) eller røntgenstråler (i røntgenfluorescensanalysatorer) exciteres atomerne i prøven, der undersøges, og udsender røntgenstråling, der er karakteristisk for hvert kemisk element . Ved at studere energispektret af sådan stråling kan man drage konklusioner om prøvens kvalitative og kvantitative sammensætning.
Metoden til energidispersiv røntgenspektroskopi kan bruges i studiet af objekter i et scanningselektronmikroskop eller et transmissionselektronmikroskop , hvor objektet undersøges ved hjælp af en fokuseret højenergi-elektronstråle.
Et højt vakuum (10 −7 mbar ) skabes i mikroskopkammeret for at minimere interaktionen mellem elektroner og luftmolekyler. Røntgendetektoren kræver afkøling, som normalt leveres af enten en flydende nitrogen -dewar eller en enhed baseret på Peltier-effekten .
Under driften af et elektronmikroskop forlader en elektronstråle en kilde - en elektronkanon - og accelereres af en højspænding. Når man rammer et objekt, spredes en del af elektronerne afhængigt af grundstoffets serienummer og dets miljø i krystalstrukturen, en del exciterer atomerne i objektets stof, hvilket forårsager udsendelse af karakteristisk stråling. Ved at analysere energispektret af den udsendte røntgenstråling , der stammer fra interaktionen mellem en elektronstråle og atomer af et objekt, ved hjælp af en detektor ( Si -krystaller med Li - urenheder ) af et elektronmikroskop, undersøges dets sammensætning også yderligere.
Analysen af individuelle maksima af røntgenspektret ved deres placering (bølgelængden af et emissionsmaksimum af et bestemt element) og intensitet udføres også i den relaterede metode til bølgelængdedispersiv røntgenspektroskopi (WDS), som har en størrelsesorden højere følsomhed og spektral separationskraft, men mindre hurtig.