Hybrid integreret kredsløb (hybrid mikrokredsløb , mikrosamling , GIS, GIMS) er et integreret kredsløb , hvori sammen med elementer, der er permanent forbundet på overfladen eller i volumen af substratet, fastgjorte mikrominiatureelementer ( transistorer , kondensatorer , halvlederdioder , induktorer , vakuum ) elektroniske enheder ) bruges , kvartsresonatorer osv.). Afhængigt af metoden til fremstilling af permanent forbundne elementer skelnes hybrid-, film- og halvleder-integrerede kredsløb.
Modstande, kontaktpuder og elektriske ledere i GIS fremstilles enten ved successiv aflejring af forskellige materialer på et substrat i vakuuminstallationer [1] (metoden til afsætning gennem masker, metoden til fotolitografi - GIS af tyndfilmsteknologi ), eller vha. anvendelse af dem i form af film (kemiske metoder, silketryk osv. - GIS tykfilmsteknologi ).
Værdierne af filmmodstande kan justeres under fremstillingsprocessen ved hjælp af lasertrimning (laserhandling fordamper lokalt modstandsmaterialet, hvilket reducerer dets tværsnit), hvilket er nødvendigt for eksempel for at skabe højpræcisions DAC'er og ADC'er .
Hængende elementer er monteret på det samme substrat med filmelementer, og deres ledninger er forbundet med de tilsvarende kontaktpuder ved lodning eller svejsning. GIS placeres som regel i et hus og forsegles. Brugen af GIS i elektronisk udstyr øger dets pålidelighed, reducerer dimensioner og vægt.
Hybrid MS'er er en videreudvikling af ideen om mikromoduler - kompakte, komplette funktionelle blokke samlet på uemballerede miniatureelementer i en meget tæt samling. Mikromoduler viderefører til gengæld ideerne om compactrons - kombinerede radiorør, der indeholder 3 eller flere rør i en cylinder. Allerede før Anden Verdenskrig var der kompaktroner, hvor lampernes interelektrodeforbindelser straks blev lavet til det ønskede kredsløb, og der var også ledningsmodstande og drosler, disse var de første mikromoduler og de direkte forfædre til hybrid MS.
De mest massivt producerede hybride integrerede kredsløb af kvartsoscillatorer.
Verdens første hybride integrerede kredsløb "Kvant" (senere betegnet "GIS serie 116") blev udviklet i 1962 ved Leningrad Research Institute of Radio Electronics (NIIRE, senere NPO Leninets ), chefdesigner - A. N. Pelipchenko. Det var også det første GIS i verden med to-niveau integration - det brugte ikke diskrete pakkeløse transistorer som aktive elementer, men verdens tredje halvleder IC "P12-2", udviklet og fremstillet i samme 1962 efter ordre fra NIIRE af Riga Semiconductor Devices Plant (RZPP), chefdesigner - Yu. V. Osokin. GIS blev produceret indtil midten af 1990'erne, det vil sige mere end 30 år.
Det første udenlandske GIS blev annonceret af IBM i 1964 i form af STL-moduler, som blev skabt af virksomheden til den nye IBM-360 familie af computere [2] .
Det næste hybride tykfilm integrerede kredsløb (serie 201 "Tropa") blev udviklet i 1963 - 65 på Research Institute of Precision Technology (" Angstrem "), masseproduktion siden 1965 [3] [4] .
Udvikling og forskning inden for speciel mikroelektronik blev udført af LNPO Avangard . Resultatet af arbejdet var skabelsen af nye typer REA-komponenter - mikrosamlinger og funktionelle elektroniske enheder.
I dag har mikrosamlinger ikke mistet deres betydning og bruges stadig i elektronik. I Rusland er der GIS-teknologier på keramiske flerlagsplader [5] og teknologier baseret på polymerfilm. [6]