Subroughness ( eng. subroughness ) - mikrorelief af de mindste elementer af overfladerelieffet involveret i dannelsen af dets ruhed .
Underruhed detekteres ved hjælp af moderne præcisionsmetoder og midler til overfladeundersøgelse, såsom scanning tunneling og atomic force mikroskoper, som har en opløsning i størrelsesordenen 1-10 nm . Underruhed dannes af overfladeuregelmæssigheder med karakteristiske dimensioner på omkring 1-100 nm i højden og 10-1000 nm i stigning. Dannelsen af subroughness er tæt forbundet med den indre struktur af et fast legeme, dets defekter såvel som processerne for overfladeinteraktion med miljøet ( oxidation , adsorption ).