Plasma behandling
Plasmabehandling er processen med at behandle materialer ved hjælp af lavtemperaturplasma genereret af lysbue eller højfrekvente plasmabrændere for at ændre formen, størrelsen, strukturen af det materiale, der behandles, eller tilstanden af dets overfladelag. Varianter af plasmabehandling er: adskillelse og overfladeskæring, belægning, sprøjtning, svejsning [1] .
Underarter af plasmabehandling er:
Galleri
-
Plasmaskæring
-
Lave huller med plasma (plasmaboring)
-
Plasmasprøjtning i vakuum
-
Ordningen for etablering af plasmasprøjtning: 1 - Katode . 2 - Levering af pulvermateriale. 3 - Dele af pulveret. 4 - Smeltede dele af pulveret. 5 - Spray objekt. 6 - Foring. 7 - Plasmadannende gas. 8 - Anode . 9 - Plasmabue. 10 - Plasmastråle med pulverpartikler.
-
Ordning for installation af plasmasvejsning: 1 - Plasmadannende gas. 2 - Beskyttelsesmundstykke. 3 - Jet. 4 - Elektrode. 5 - Indsnævringsmundstykke. 6 - Elektrisk lysbue.
-
Plasma overfladebehandlingsudstyr (rengøring)
Noter
- ↑ Kovshov A.N. Ingeniørteknologi. - M., Mashinostroenie, 1987. - s. 290
Litteratur
- Sosnin N. A., Ermakov S. A., Topolyansky P. A. Plasmateknologier. Vejledning for ingeniører. Den Polytekniske Universitets forlag. St. Petersborg: 2013. - 406 s.
- Ivanovsky G. F. , Petrov V. I. Ion-plasmabehandling af materialer. - M . : Radio og kommunikation, 1986.
- D. Tolliver, R. Nowitzki, D. Hess og andre; Ed. N. Einspruck, D. Brown. Plasma-teknologi i produktionen af VLSI. — M .: Mir, 1987. — 469 s.
- Danilin BS, Kireev V. Yu. Anvendelse af lavtemperaturplasma til ætsning og rensning af materialer. - M. : Energoatomizdat, 1987. - 263 s.
- Danilin B.S. Brugen af lavtemperaturplasma til aflejring af tynde film. — M .: Energoatomizdat, 1989. — 328 s.
- Popov VF, Gorin Yu. N. Processer og installationer af elektron-ion-teknologi. - M . : Højere. skole, 1988. - 255 s. — ISBN 5-06-001480-0 .
- Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Vakuumprocesser og udstyr til ion- og elektronstråleteknologi. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 s. - ISBN 5-217-00726-5 .