Trichlorsilan | |
---|---|
Generel | |
Chem. formel | SiHCl 3 |
Fysiske egenskaber | |
Molar masse | 135,45 g/ mol |
Massefylde | 1,342 g/cm³ |
Termiske egenskaber | |
Temperatur | |
• smeltning | -126,6 °C |
• kogning | 31,8°C |
Klassifikation | |
Reg. CAS nummer | 10025-78-2 |
PubChem | 24811 |
Reg. EINECS nummer | 233-042-5 |
SMIL | [H][Si](Cl)(Cl)Cl |
InChI | InChI=1S/Cl3HSi/cl-4(2)3/h4HZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N |
RTECS | VV5950000 |
FN nummer | 1295 |
ChemSpider | 23196 |
Sikkerhed | |
NFPA 704 | fire 3 2W |
Data er baseret på standardbetingelser (25 °C, 100 kPa), medmindre andet er angivet. | |
Mediefiler på Wikimedia Commons |
Trichlorsilan ( TCS, silantrichlorid, silantrichlorid, silicochloroform, trichlormonosilan ) er en siliciumholdig uorganisk forbindelse, ved 20 °C og atmosfærisk tryk, en farveløs, flygtig, gennemsigtig væske.
Gennemsigtig væske med en skarp lugt, hydrolyseret af fugt i luften. Fremstillingen af dette produkt kræver øget omhu og forsigtighed fra personalet på grund af toksiciteten af trichlorsilan. Kontakt med huden på selv små dråber er fyldt med i det mindste en meget smertefuld og dårligt helende kemisk forbrænding; et stort antal kan forårsage alvorlige skader, op til adskillelse af muskelvæv fra knogler.
Trichlorsilan er råmaterialet til fremstilling af polykrystallinsk silicium, monosilan og dichlorsilan (som også bruges i syntesen af polysilicium ), hovedserien af organosiliciummonomerer. Derudover er der andre anvendelser af trichlorsilan. For eksempel mikroelektronik , hvor det bruges til epitaksial aflejring af enkeltkrystal siliciumfilm.
Det globale marked for trichlorsilan anvendt til fremstilling af polysilicium er delt mellem USA, Japan, Tyskland og Italien. I det tidligere USSR var trichlorsilansyntesekapaciteten koncentreret i Ukraine, så efter 1991 var der ingen produktion af trichlorsilan i Rusland. Nu produceres trichlorsilan kun på fire russiske virksomheder i årenes løb. Usolye-Sibirskoye, i Novosibirsk, Alfagaz LLC, Dzerzhinsk, Firm KHORST LLC, Novocheboksarsk [1] og i Ukraine, i Zaporozhye.