Savin, Viktor Vasilievich
| Viktor Vasilievich Savin | |
|---|---|
| Fødselsdato | 31. maj 1927 |
| Dødsdato | 3. juli 1978 (51 år) |
| Beskæftigelse | Direktør for NIITM og Elion-fabrikken |
| Priser og præmier |
|
Viktor Vasilyevich Savin (1927-1978) - Direktør for Forskningsinstituttet for Teknologi og Elion-fabrikken (1965-1978), vinder af Lenin-prisen (1974).
Født den 31. maj 1927.
Siden 1964 og. om. direktør, fra januar 1965 direktør for Research Institute of Precision Engineering (NIITM) og Elion-fabrikken (Zelenograd).
Under hans ledelse skabte:
- vakuum-sprøjteinstallationer baseret på basismodellen UVN-70A-1, en elektronstråleinstallation ELUM-1 til produktion af hybride IC'er, installationer til dyrkning af epitaksiale lag, en laserinstallation til behandling af mikroelektroniske produkter (1966-1967).
- et sæt udstyr "Korund-S" til masseproduktion af IC'er på siliciumwafers med en diameter på 40 og 60 mm (1968).
- multi-position, multi-reaktor vakuum-spray udstyr til IC produktion (1969).
- udstyr til fremstilling af IC'er på wafere med en diameter på 76 mm (1970).
- vakuum-sprøjteanlæg med elektronstråle- og ionsystemer (1971).
- sæt udstyr til masseproduktion af IC'er (1972-1974).
- højtydende vakuum-sprøjteinstallationer af semi- og kontinuerlig drift, automatiserede produktionslinjer til fysiske og termiske operationer, sæt af plasma-kemisk udstyr (1975-1977).
Kandidat for Teknisk Videnskab.
Død 07/03/1978. Han blev begravet på byens kirkegård i Zelenograd.
I 1974, for sit bidrag til organisationen af det videnskabelige center for mikroelektronik, dannelsen og udviklingen af videnskab og industri i Zelenograd, blev han tildelt Lenin-prisen som en del af et team ( K. A. Valiev , G. Ya. Guskov , L. N. Livintsev , A. Yu. Malinin ) [1] .