En mikrosonde er en enhed til at udføre røntgenspektralmikroanalyse (bestemmelse af atomsammensætningen af et stof i et lille volumen).
Funktionsprincippet for mikrosonden er som følger: en elektronstråle genereres , som opsamles af elektromagnetiske linser i en smal stråle - en elektronsonde. Når de kommer ind i prøven, slår elektronerne elektroner ud fra skallerne af stoffets atomer og genererer karakteristisk røntgenstråling . Hvert element udstråler ved sit karakteristiske sæt af frekvenser og kan identificeres ved det. Grundstofkoncentrationerne bestemmes ud fra strålingsintensiteten.
I øjeblikket er mikrosonden normalt en variant af scanningselektronmikroskopet , der er optimeret til røntgenspektralanalyse. Derfor kan de fleste mikroprober også udføre et elektronmikroskops funktioner.
For at udføre kvantitativ mikroprobeanalyse skal prøveoverfladen poleres og rengøres. uregelmæssigheder fører til atypisk spredning af røntgenstråler og væsentlige fejl ved bestemmelse af koncentrationen af elementer. For at forhindre akkumulering af ladning på overfladen af den dielektriske prøve afsættes en tynd ledende film, normalt kulstof , på den .