Plasmakilder

Plasmakilder er enheder designet til at skabe plasma . Skabelsen af ​​plasma kræver i det mindste delvis ionisering af neutrale atomer og/eller molekyler i mediet. I teknologi bruges som regel visse typer gasudledning til at skabe plasma .

Højtryksplasmakilder (fra 1000 Pa til atmosfærisk og sjældent højere) tryk kaldes plasmabrændere eller plasmabrændere. I dem dannes som regel plasma i et specielt udledningskammer, gennem hvilket den plasmadannende gas blæses. Den mest almindeligt anvendte lysbue eller induktionsafladning . For små kræfter (op til flere kW) er mikrobølgeplasmabrændere også almindelige .

Plasmakilder til lavtryk har ikke et fælles navn og er klassificeret efter driftsprincippet:

• Bue:
  • kold katode ;
  • med opvarmet katode ;
  • to-trins;
• Baseret på en stråle-plasma-udladning , især med en hul katode ;
• Induktivt koblet :
  • med spole i form af en solenoide ;
  • med en flad spole;
  • baseret på helikonudladning
• Kapacitivt koblet
• Baseret på mikrobølgeudladning , herunder brug af:
  • elektroncyklotronresonans ;
  • udledning på en overfladebølge ;
• Baseret på udledning i krydsede felter:
  • Hallens kilder;
  • kilder med et anodelag.

Plasmakilder har mange anvendelser, især lyskilder og plasmabehandling af materialer.

Se også

• Plasmatron
• ionkilde
• Plasma behandling

Litteratur

• Popov OA højdensitetsplasmakilder: Design, fysik og ydeevne. - Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA: Noyes Publications, 1995.
• Gabovich MD Plasmakilder til ioner. - Kiev: Naukova Dumka, 1964. - 224 s.

• Zhukov M.F. Elektriske lysbuegasvarmere (plasmatroner). - M. : Nauka, 1973. - 232 s.

• Barchenko V.T. Teknologiske vakuum-bue plasmakilder. - Sankt Petersborg. : Publishing House of St. Petersburg Electrotechnical University "LETI", 2013. - 242 s. — ISBN 978-5-7629-1366-9 .

• Aksenov II Vakuumbue : plasmakilder, belægningsaflejring, overflademodifikation. - Kiev: Naukova Dumka, 2012. - 727 s.

• Popov VF, Gorin Yu. N. Processer og installationer af elektron-ion-teknologi. - M . : Højere. skole, 1988. - 255 s. — ISBN 5-06-001480-0 .

• Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Vakuumprocesser og udstyr til ion- og elektronstråleteknologi. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 s. - ISBN 5-217-00726-5 .