Nanoelektromekaniske systemer ( NEMS ) er en klasse af enheder, der kombinerer elektroniske og mekaniske komponenter på nanometerskalaen (op til 100 nanometer ).
NEMS er en logisk fortsættelse af udviklingen af mikroelektromekaniske systemer (MEMS) på miniaturiseringens vej . NEMS bruges som højfrekvente oscillatorer (op til 10 GHz), nanomotorer og modulatorer. Der er to retninger i oprettelsen af NEMS:
Derudover bruger NEMS de nyeste materialer såsom grafen og kulstof nanorør . De vigtigste klasser af NEMS omfatter nanokaviteter med en høj grundfrekvens og nanoaktuatorer .
I øjeblikket kan nanoelektromekaniske systemer fremstilles både ved top-down-metoder, som omfatter traditionelle mikroelektronikmetoder (optisk og elektronstrålelitografi ) og ved bottom-up-metoder, såsom molekylær genkendelse og selvsamling .